精點測量技術(東莞)有限公司
Making Measuring Instruments Using Chinese Spirit

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  • 首頁 > 產品中心 > 代理進口儀器系列 > 奈米(納米)深度3D形狀顯微檢測儀
    產品詳情說明
    奈米3D顯微形貌快速呈現
        SWIM系列掃描白光干涉顯微檢測儀結合臺智公司(Carmar) 的相移垂直掃描的專利技術與顯微光干涉技術,不需要複雜光路調整程序,即可在非接觸、無破壞、普通大氣環境下完成3D奈米深度的表面檢測分析,不僅提供3D表面形狀和表面紋理的分析,更可提供鏡面表面的奈米級粗糙度和臺階高度分析, 並追溯至ISO國際規範。
        SWIM系列掃描白光干涉顯微檢測儀,具有極強的測量能力,可在幾秒內就完成整個視場的掃描,得到測量樣品的3D圖形與高度數據,檢測速度與深度量測能力優於逐點逐面掃描的
    共焦掃描顯微鏡,3D圖形量測能力又優於掃描式電子顯微鏡的2D平面檢測能力,且不需要使用電子束或雷射,開機快又安全,維護成本更低。
        無論是拋光面,還是粗糙面,甚至是高透明材質(例如石英),只要有超過1%以上的反射率就能夠被檢測。 SWIM系列顯微檢測儀適合各種材料與微元件表面特徵和微尺寸檢測,應用領域包含:
    u 觸控面板 (Touch Panel)
    u 太陽能板 (Solar Cell)
    u 晶圓(Silicon Wafer or Sapphire Wafer
    u 光碟/硬碟(DVD DiskHard Disk
    u 微機電元件 MEMS Components
    u 平面液晶顯示器(LCD
    u 高密度線路印刷電路板( HDI  PCB 
    u IC封裝( IC  Package
    u 精密微機械元件或模具Micro Mechanical Parts or Mode
    u 以及其它材料分析與元件微表面研究。
    相移垂直掃描專利技術,使深度解析度達0.1nm
    SWIM系列顯微檢測儀提供Z軸掃描解析度0.1nm,平面空間分辨力0.5 um (50X物鏡)的量測能力,最高達12  um/s的垂直掃描速度,所具有的奈米3D顯微形貌快速呈現能力是科研、研發、產品檢時所必備的工具。 
    SWIM-M系列  (通用規格)
    型號
    SWIM-1510MS
    SWIM-1510ME
    SWIM-1510MZ
    SWIM-2515MS
    SWIM-2515ME
    SWIM-2515MZ
    SWIM-4030MS
    SWIM-4030ME
    SWIM-4030MZ
    移動臺行程 (mm)
    150 x 100
    250 x 150
    400 x 300
    機臺尺寸 X/Y/Z (mm)
    510 x 560 x 900
     570 x 670 x900
    700 x 990 x 900
    機臺重量 (kg)
    145
    150
    296
    載重
    大於 10 kg
    軸移動範圍
    80 mm,手動粗調/細調
    位置數位顯示單元
    三軸光學尺與三軸電腦數位顯示 (解析度0.5 mm)
    傾斜調整平臺
    雙軸/手動
    底座
    花崗巖
    高度測量
    測量範圍
    100 mm  ( 400 mm, 選配)
    量測解析度
    0.1 nm
    重覆精度(σ)  (1)
     
     0.1 %    ( 量測高度: > 10 m m)
     10 nm   ( 量測高度:m m ~ 10 m m)
       5 nm   ( 量測高度: <1 m m )
    量測控制
    自動
    掃瞄速度 (ms)
    12 (最高)
    光源
    光源類型
    儀器用鹵素()光源
    平均使用壽命
    1000小時(100W)     500小時(150W)
    光強度調整
    自動 /手動
    資料處理與顯示用電腦
    中央處理運算單元
    雙核心以上CPU
    影像與資料顯示螢幕
    17 液晶螢幕
    存儲裝置
    200 GB 以上硬碟機
    作業系統
    WindowsXP (2)
    電源與環境要求
    電源
    AC110V 220V ,50Hz 60Hz
    環境振動
    VC-C等級以上
    量測與分析軟體
    量測軟體
    ImgScan 量測軟體 :
     VSI  PVSI PSI 量測模式 ( PSI量測模式需另選配PSI模組搭配)
    分析軟體
    PostTopo分析軟體
     ISO 粗糙度/階高分析,快速傅利葉轉換和濾波多樣的 2D 3D 觀測視角圖,外形/面積/體積分析圖像縮放標準影像檔案格式轉換報表輸出程序教導量測等。

    1. 使用20X物鏡量測階高標準重覆30次的結果
    2. WindowsXP為美國Microsoft公司註冊商標

    SWIM-MS 
    SWIM-ME 系列 

    適用型號
    SWIM-1510MSSWIM-1510ME
    SWIM-2515MSSWIM-1510ME
    SWIM-4030MSSWIM-4030ME
    物鏡放大倍率
    10X
    20X
    50X
    觀察與量測範圍
     ()
    單位: mm
    MS
    0.43 X 0.32
    0.21 X 0.16
    0.088 X 0.066
    ME
    1.67 X 1.33
    0.84 X 0.67
    0.34 X 0.27
    光學解析度 (mm)
    0.92
    0.69
    0.5
    收光角度 (Degrees)
    17
    23
    33
    工作距離 (mm)
    7.4
    4.7
    3.4
    影像感測器
    黑白 CCD數位攝像機
    感測器解析度
    MS
    640 x 480 像素
    ME
    1280 x 1024像素

    SWIM-MZ 系列 

    適用型號
    SWIM-1510MZ
    SWIM-2515MZ
    SWIM-4030MZ
    物鏡放大倍率
    10X
    20X
    50X
    變倍倍率 (手動)
    0.5X  1X  1.5X  2X
    觀察與量測範圍
     ()
    單位: mm
    最小
    0.21 X 0.16
    0.10 X 0.079
    0.042 X 0.031
    最大
    0.86 X 0.64
    0.42 X 0.32
    0.17 X 0.13
    光學解析度 (mm)
    0.92
    0.69
    0.5
    收光角度 (Degrees)
    17
    23
    33
    工作距離 (mm)
    7.4
    4.7
    3.4
    影像感測器
    黑白 CCD數位攝像機
    感測器解析度
    640 x 480 像素
    *以上觀察與量測範圍的規格提供參考,以出廠校正後的規格為準。

    3D VMM-6060C 
    產品規格 

    型號
    3D VMM-6060C
    移動臺行程 (mm)
    600 x 600 (氣浮)
    機臺尺寸 (mm)
     1500 x 1300 x 1510
    機臺重量 (kg)
    1300
    軸移動範圍
    80 mm
    位置數位顯示單元
    三軸光學尺與三軸電腦數位顯示 (解析度0.5 mm)
    XY示值誤差
    (3 + L/200) um      L為被測長度(單位︰mm)
    底座/防振
    花崗巖平臺/被動式防振腳
    光學系統
    參考SWIM-MS系列的光學配置
    測量範圍
    100 mm  ( 400 mm, 選配)
    3D高度量測解析度
    0.1 nm
    3D高度重覆精度(σ) 
     
     0.1 %    ( 量測高度: > 10 m m)
     10 nm   ( 量測高度:m m ~ 10 m m)
       5 nm   ( 量測高度: <1 m m )
    3D掃瞄速度
    12 m(最高)
    光源類型
    高亮度LED光源
    光強度調整
    自動 /電動
    CPU /作業系統
    雙核心以上CPU WindowsXP
    螢幕/存儲裝置
    17 液晶螢幕/ 200 GB 以上硬碟機
    電源
    AC110V 220V ,50Hz  60Hz
    環境振動需求
    VC-C等級以上
    溫濕度環境需求
    溫度20 ± 2       濕度55 ~ 65 % RH
    工作氣源
    氣壓 0.4 MPa       流量120 L/min
    量測與分析軟體
    3D QIM 5008  ImgScan  PostTopo
     SWIM 全系列產品規格與款式如有變更,恕不另行通知。 

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